外延流程:外延片與晶圓的區別[朗讀]

1.襯底是指藍寶石晶棒或者是矽經過切片,清洗,還沒有其他工藝加工的裸片.也叫基片.2.外延片是指經過mocvd加工的片子.外延生長的基本原理是:在一塊加熱至適。