半導體製造工藝流程:半導體八大工藝流程圖[朗讀]

ic的製備工藝相對複雜一點,但跟基本的電晶體、mos工藝等差不多的.npn管為例矽外延平面管的結構主要工藝流程:(1)切,磨,拋襯底(2)外延(3)一次氧化(4)基區光刻(5)硼擴散/硼注入,退火(6)發射區光刻(7)磷擴散(磷再擴)(8)低氧(9)刻引線孔(10)蒸鋁(11)鋁反刻(12)合金化(13)cvd(14)壓點光刻(15)烘焙(16)機減(17)拋光(18)蒸金(19)金合金(20)中測。