《半導體製造技術》是2009年電子工業出版社出版的圖書,作者是(美國)michaelquirk.《半導體製造技術》詳細追述了半導體發展的歷史並吸收了當今最新技術資料,學術界和工業界對《半導體製造技術》的評價都很高.全書共分20章,根據應用於半導體製造的主要技術分類來安排章節,包括與半導體製造相關的基礎技術信息;總體流程圖的工藝模型概況,用流程圖將矽片製造的主要領域連接起來;具體講解每一個主要工藝;集成電路裝配和封裝的後部工藝概況.此外,各章為讀者提供了關於質量測量和故障排除的問題,這些都是會在矽片製造中遇到的實際問題。
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