小外延條件項:小外延條件項出處[朗讀]

非也非也!外延層是指生長沉積在襯底上的那一部分,外延片是外延層加上襯底.外延層的厚度比襯底的厚度小很多,微米級別的.藍寶石襯底在生長外延層之前一般都要進行pss處理以減小晶格失配,增加沉底和外延層的結合力,另外經過pss襯底處理過的襯底有助於光參數的提升,另外一個提升光參數的方法還有se(側壁腐蝕)。